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MEMS : fundamental technology and applications / edited by Vikas Choudhary, Krzysztof Iniewski

TextoSeries Devices, circuits, and systemsEditor: Boca Raton : CRC Press,Taylor & Francis Group, c2013Descripción: xxii, 456 páginas : ilustracionesTipo de contenido: texto Tipo de medio: sin medio Tipo de portador: volumenISBN: 9781466515819 (empastado, cubierta dura); 1466515813 (empastado, cubierta dura)Tema(s): Sistemas microelectromecánicos | Encapsulado microelectrónicoClasificación CDD: 621.381 Clasificación LoC:TK7875 | M4545

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