MEMS : fundamental technology and applications / edited by Vikas Choudhary, Krzysztof Iniewski - xxii, 456 páginas : ilustraciones - Devices, circuits, and systems . ISBN: 9781466515819 (empastado, cubierta dura) 1466515813 (empastado, cubierta dura) Subjects--Topical Terms: Sistemas microelectromecánicosEncapsulado microelectrónico LC Class. No.: TK7875 / M4545 Dewey Class. No.: 621.381