TY  - BOOK
AU  - Choudhary,Vikas
AU  - Iniewski,Krzysztof
TI  - MEMS: fundamental technology and applications 
T2  - Devices, circuits, and systems
SN  - 9781466515819 (empastado, cubierta dura)
AV  - TK7875 M4545
U1  - 621.381 23
PY  - 2013///
CY  - Boca Raton
PB  - CRC Press,Taylor & Francis Group
KW  - Sistemas microelectromecánicos
KW  - Encapsulado microelectrónico
ER  -